电子行业
蚀刻/显影/褪膜
在此类生产工艺中，斯普瑞喷雾系统的相关产品具有良好的耐腐蚀性能、更少的维修保养次数和优异的喷雾分布，助力客户提高产品质量。
方形蚀刻喷嘴
PPS FullJet® 喷雾喷嘴• 适用于印刷电路板的山形流量分布
• 叶片（内部叶轮）无需工具即可拆卸，易维修
• 拱顶构造，使用中无脱落
• 喷雾形状有圆型和方型两种
• 材质： PPS（聚苯硫醚）
典型应用工艺：
大平板玻璃基板蚀刻
Kynar® 系列喷嘴
全线扩展的 Kynar® 系列喷嘴，电子行业清洁过程中的理想选• 优异的抗化学腐蚀、耐磨、耐用性能
- PVDF树脂材质抗耐性强，适用于印刷电路板的蚀刻和溶剂喷涂等电子元件制造工艺。
• 安装、定位、拆卸，易如反掌
- 独特的快拆结构设计令操作更简易
• 全线扩展的系列，多种尺寸和流量可供选择
- 两种类型的喷雾模式：FullJet 实心锥形喷嘴 VeeJet 扇形喷嘴
- 可选配的过滤器用于小流量喷嘴：新型的Kynar过滤器可适用于H1/4VV Kynar VeeJet的扇形喷嘴，使用灵活，安装简便。
- 提供Quick快拆型喷头，方便更换。
典型应用工艺：
- 大平板显示玻璃基板清洗
- 半导体晶圆清洗
FLOODJET喷嘴
清洗、显影，是需要广角喷雾覆盖范围作业的理想之选• 广角、偏流式扁平扇形喷雾形状
• 喷嘴能够水平安装时使用
• 保护喷孔不受损坏，使喷嘴堵塞的可能性降到最低
• 喷雾角度从73°至153°
• 从.04至110 gpm（.14至410 lpm）的均匀喷雾分布
• 工作压力高达60 psi（4 bar）
典型应用工艺：
- 大平板显示玻璃基板的显影液涂覆
Slit狭缝气/水刀喷嘴
狭缝气/水刀喷嘴的主要技术特点：• 独特的四腔体构造，生产具有均一压力的液膜或气膜
• 狭缝长度可达50~3900mm，狭缝宽度0.05~1.6mm
• 材质为不锈钢、PVC、铝、钛或其他
我们还可以根据客户的实际生产情况，提出专业意见和适合客户需要的定制产品。
1. LCD玻璃表面清洗及吹干
2. 多层PCB吹干
3. 半导体元件表面吹干
4. 晶圆制造
典型应用工艺：
- 半导体晶圆的精密清洗
- FPD玻璃基板的清洗
电子半导体行业供液罐
适用于半导体制造业液体输送的供液罐产品特点 :
• 优秀的承压能力，最高压力在38摄氏度温度下高达10bar
• 整体316L材质，良好的耐腐蚀性能
• 压力罐容量为2加仑（7.6L）及5加仑（实际容积达19.4L）
• 整体（包含罐体内部）电解抛光处理，内表面光洁度达到 Ra 0.4, 外表面喷砂处理，更加美观耐脏
• O 型密封圈采用FEP包氟FKM密封圈，相对于EPDM或者FKM橡胶密封圈，可以适用于更多种有机溶剂的工况
• 根据需要可以配备压力调节阀，安全阀，液位计等常用流体部件
• 接口规格和尺寸可以根据用户需要配备，常用规格为1/4"或3/8"(BSPT或NPT)， 此图例为一种常用接口配置，供参考
• 罐体底部裙座带有安装固定孔，方便用户现场安装和固定
典型应用工艺：
- 半导体行业去离子水及化学液的储存及输送。
产品详情 • 优秀的承压能力，最高压力在38摄氏度温度下高达10bar
• 整体316L材质，良好的耐腐蚀性能
• 压力罐容量为2加仑（7.6L）及5加仑（实际容积达19.4L）
• 整体（包含罐体内部）电解抛光处理，内表面光洁度达到 Ra 0.4, 外表面喷砂处理，更加美观耐脏
• O 型密封圈采用FEP包氟FKM密封圈，相对于EPDM或者FKM橡胶密封圈，可以适用于更多种有机溶剂的工况
• 根据需要可以配备压力调节阀，安全阀，液位计等常用流体部件
• 接口规格和尺寸可以根据用户需要配备，常用规格为1/4"或3/8"(BSPT或NPT)， 此图例为一种常用接口配置，供参考
• 罐体底部裙座带有安装固定孔，方便用户现场安装和固定
典型应用工艺：
- 半导体行业去离子水及化学液的储存及输送。